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半導體/FPD檢測顯微鏡采用符合人體工學的易用設計,能夠提供大 300mm 晶圓、平板顯示器、印刷電路板、以及其他大型樣本的高品質觀察。該產(chǎn)品采用靈活的模塊設計,能夠提供適用于多種檢查用途的觀察系統(tǒng)。
半導體/FPD檢測顯微鏡現(xiàn)今智能手機產(chǎn)業(yè)的發(fā)展帶動了包括半導體、平板顯示(FPD)、印制電路板(PCB)等整個電子制造業(yè)的進步。適合大樣品的檢測、人體工學設計等諸多優(yōu)點將會有助電子制造行業(yè)的發(fā)展更上一層樓。
半導體/FPD檢測顯微鏡
新MX63/MX63L顯微鏡是該系列支持奧林巴斯MIX照明功能的產(chǎn)品,由此進一步提升了該顯微鏡的觀察能力。MIX可將暗場與明場、熒光或偏振等其他觀察方法結合使用。在很多應用中,MIX能夠幫助用戶觀察到使用傳統(tǒng)顯微鏡難以看到的缺陷。
長壽命高強度白色LED照明:始終一致的色溫
新MX63/MX63L顯微鏡配備了高強度白光LED光源,兼顧低功耗和長壽命的特點,而且其穩(wěn)定的色溫為可靠的圖像質量和的色彩復現(xiàn)提供了保障。
功能性:適合所有晶園尺寸
新MX63/MX63L顯微鏡特別適用于半導體、平板顯示、印制電路板等行業(yè)的大尺寸樣品檢測。MX63可用于大晶圓直徑200mm,MX63L可用于大晶圓直徑300mm。此外,新顯微鏡還可以選配晶園搬送機,實現(xiàn)可靠、安全、的對晶圓正面和背面進行檢測。
模塊化:全面可定制
新MX63/MX63L顯微鏡的模塊化設計讓檢測者能夠根據(jù)應用需要選擇組件。兩款顯微鏡均按潔凈室應用而設計,并符合SEMI S2/S8、CE和UL要求。所有電動組件均安裝在屏蔽結構內,鏡架、鏡筒以及其他部件均經(jīng)過防靜電處理。
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